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1500℃开启式管式炉,带真空法兰和2或3英寸刚玉管
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12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉
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回转炉
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1200℃下装载升降真空炉(气体冷却,加热区尺寸:Φ240*260mm)
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1400℃箱式炉(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
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1200℃箱式炉(27L,炉腔尺寸:300*300*300mm)
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1500℃双温区管式炉
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1400℃箱式炉(18.8L,炉腔尺寸:250*300*250mm)
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电弧辅助可二次加料真空熔炼炉 (1200℃,Ф200 * 425mm)
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1750℃小型真空管式炉 (60mm管径)
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1200℃真空密封坩埚移动管式炉(手动)
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50mL双罐旋转反应釜 (230℃,压力范围3-10MPa)
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1700℃小型高温箱式炉 (1.7L,炉腔尺寸:120*120*120mm)
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高通量4工位管式炉 (1200℃,80mm石英管)
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1200℃小型双温区开启式管式炉(含样品移动模块)
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1200℃双炉体(管径80mm)滑动TCVD系统
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300mm宽平板挤压涂布机
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磁控溅射蒸发镀膜仪
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磷酸钛铝锂固体电解质片(Li1.3Al0.3Ti1.7P3O12)
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1200℃小型四温区开启式管式炉
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200℃电动轧辊/平板热轧机 (宽200mm,可在氩气环境中使用)
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全自动双炉滑动CVD系统(1200℃Max)
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1200℃双温区旋转管式氢气炉 (异形炉管容积:Φ127*280mm)
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1600℃双通道超声雾化CVD管式炉