半导体材料研发设备_根据应用寻找设备_产品中心_合肥科晶材料技术有限公司

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薄膜制备
配件
其它实验室设备

热处理设备: 管式炉箱式炉箱管混合

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加热方式: 电阻加热红外灯管加热感应加热微波加热

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加热形式: 常规炉立式箱管混合式回转炉

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加热温度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加热温区: 单温区双温区三温区多温区感应加热专用

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管径: ф‍25 ф‍50 ф‍60 ф‍80 ф‍100 ф‍120及以上

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称量配料	6源自动配粉 16源自动配粉手套箱内配粉封管机
混/磨	干粉混合破碎机球磨机
压制&成型	压片机热压机 CIP-冷等静压 HIP-热等静压平板热压机
烧结&热处理	烘箱箱式炉管式炉高真空&高洁净炉 RTP 高通量&自动化炉
晶体生长	提拉法（CZ）布里奇曼区熔液相外延（LPE） CVT/PVT
匀胶&涂布	旋涂机超声喷雾旋涂机丝网印刷刮刀&挤压涂布
清洗&刻蚀	超声清洗机臭氧清洗机等离子清洗&刻蚀机
薄膜制备	溅射仪蒸镀仪 CVD&ALD
手套箱&储存箱&洁净台	手套箱储存箱洁净工作台
切割	锯片切割&划片机线切割机
研磨&抛光	研磨&抛光机自动化研磨&抛光机镶嵌机
检测设备	XDR X射线定向仪 TGA 薄膜检测粉体检测

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