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1700℃高温取样箱式炉(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
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小型真空箱式炉 (6L,1050℃,配温度控制器)
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1200℃滑动管式炉(管径130mm)
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可连续型全自动气淬管式炉
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小型分体式磁控溅射仪(50mm靶头,可选直流或射频电源,手套箱内可用)
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STX-600系列金刚石线切割机
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1500℃三温区回转炉(配自动进料和接收系统)
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PECVD系统
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500ºC&5T精密电动无油平板热压机 (135mmx135mm)
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立式管式炉
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1700℃高温箱式炉带观察窗(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
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1600℃超声雾化CVD管式炉
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固态电池原位压力变化测试系统
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手动压力机
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1500℃双温区回转炉(配60mm氧化铝管)
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1600℃三温区下装载箱式炉(72L,炉腔尺寸:400*400*450mm)
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1200℃高通量自动化管式炉 (130mm,可配机械手实现自动装载)
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小型燃料电池试验用管式炉(20mm,1000℃)
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双极真空泵
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固态电池模具手动加压装置
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1600℃Mist/LPCVD系统(216mm石英腔室)
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200℃异步垂直热轧机 (压力显示,100*100mm)
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滑动式三温区管式炉PECVD系统
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管径130滑动式单温区管式炉PECVD系统