| 设备名称型号 | · 2900℃超快速高真空等静压&热压炉 RTP-MS |
| 产品特点 | · 不锈钢水冷腔体,真空度可达2x10-2torr(机械泵),5x10-5torr(分子泵),腔体内最高气压可达1MPa · 加热元件:石墨片作为加热元件,最高温度可达到 2900℃ · 两个加热元件之间的间隙可根据不同的样品厚度进行调整 · 上部配置的手动加压机构可应用于热压样品,最大压力100Kg · 采用高精度红外测温仪测量温度 |
| 基本参数 | · 电源:三相AC380V±5% 50/60HZ · 功率:30KW · 最高加热温度:2900℃(≤30s) · 温度时间对应表(仅供参考) · 加热元件:石墨片(标配平面石墨片,可选配带坩埚石墨片、石墨纸或石墨毡加热片) · 最快加热速率:≤180℃/s(标配石墨片真空环境下测试) · 样品尺寸:≤直径φ50mm*厚度2.0mm · 整套装置有两种工作模式: · 一种是真空或常压气氛保护下的超快热压(上下对样品加压),最大压力:100KG,数显仪表显示实时压力,手动调节,压力调节范围1-100千克 · 另外一种是在等静压(腔体内充气)模式下进行超快加热,最高压力:1MPa。两种工作模式不可以同时使用,在使用等静压模式时,必须拆除腔体上盖的手动加压模块,并用盲板封住上盖的KF40接口 超快热压模式 等静压模式 |
| 真空水冷腔室 | · 材质:304不锈钢 · 尺寸:外径φ370mm*H380mm · 内部石墨毡保温。外部腔体通水冷降温,水路安装有水压报警 · 腔体上盖固定在一个电动升降机构上,可控制上盖的升降 · 上盖中间位置的KF40的接口上安装了一根可伸缩波纹管,波纹管顶部安装的支撑杆调节装置用于手动调节压力 · 红外测温仪通过法兰盖上一个φ35mm石英观察窗探测加热片的温度 · 上盖的一个KF16接口安装了一个皮拉尼真空计,一个球阀控制气体的通断,充正压时需关闭此球阀 · 腔体右侧与上盖各有一个φ6.35的卡套接头进气口,分别通过一个不锈钢针阀控制进气的通断;腔体右侧进气口通低压小流量气体,通过设备右侧的精密调节阀控制进气流量。上盖上面的进气口通高压大流量气体连接到气瓶减压阀,此路进气管道需用耐高压管 · 腔体右下侧有一个φ6.35的卡套接头为出气口,一个不锈钢针阀控制出气的通断,出气口通过不锈钢管与一个背压阀连接,可通过调节背压阀使腔体内部维持在一个恒定压力 · 腔体左侧的KF40接口为抽真空接口,连接挡板阀,波纹管与真空泵 · 腔体内部下面安装了两根M24的陶封电极,石墨片固定在电极支撑柱上,样品放置在两个石墨片之间,石墨片下面有一个氮化硼支撑柱,通过上下加压的方式对样品施加压力 |
| 背压阀组件 | · 背压阀组件安装在腔体出气口处,当腔体处于热等静压模式下,通过调节背压阀的排气压力,实现对腔体内部压力的恒定控制 · 接口尺寸:1/4双卡套 · 阀体材质:316L · 最大承受压力:3.4MPa · 恒压精度:±1.5% FS |
| 温控系统 | · 使用红外测温仪检测温度,红外测温仪温度测量范围:550-3000℃ 测量精度:±(0.5% FS+2℃),重复精度:±0.3% FS · 控温方式:手动控温和程序控温(通过“手动/自动切换开关”切换) · 手动控温:通过右侧面板上的电流调节旋钮调节电流值,从而调节温度 · 程序控温:安装了一个数显温度控制仪表,带有PID功能,可设置30段升降温程序,高温恒温控温精度为±3℃ · 温度控制仪表的时间设置以秒为单位 |
| 皮拉尼真空计(选配) | · 测量范围:1*10-4 mbar—1000 mbar(1*10-4—750 torr) · 准确度:1000mbar—20 mbar(读数的30%) 20—0.002mbar (读数的2%) · 重复性:20—0.002mbar (读数的2%) · 使用湿度:30℃环境下≤80% 40℃环境下≤50%无冷凝气体 · 使用温度:5℃—60℃ |
| 水冷系统(选配) | · 型号:KJ-6300 · 电源 : 单相AC 220V±5% 50Hz · 工作电流:3.4-18.1A · 制冷量:26826Btu/h 7.86KW 6758Kcal/h · 水箱容量 :40L · 最大流量 :75L/min · 重量:约165KG · 机器尺寸:655×810×1170mm﹙L×W×H﹚ |
| 真空系统(选配) | · 型号:VRD-24 · 抽气速率:6.6 L/S · 电机功率:1100 W · 极限压强:4×10-1Pa(不带负载) · 实际压强:≤3 Pa(带上密封法兰,冷态下机械泵抽20分钟) · 如果想要获得更高的真空度(10-5torr)可选购国产或进口高真空机组 |
| 设备外形尺寸 | · 设备主体:730mm(L)*730mm(W)*1610mm(H) · 控制柜:710mm(L)*860mm(W)*820mm(H) |
| 净重 | · 约350KG |
| 质保 | · 一年保修,终身技术支持 · 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英窗口,样品坩埚等不包含在内 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损失不在保修范围内 |
| 使用注意事项 | · 腔体内气压不可高于1MPa(相对气压) · 由于气瓶内部气压较高,所以腔体内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议在本公司选购减压阀,使用时会更加精确安全 · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于额定压力,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责 |
