Si+SiO2+Ti+Pt <111>
关键字:
进口薄膜
产品概述:
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产品名称

Si+SiO2+Ti+Pt


常规尺寸

dia4"±0.5 mm x0.5mm   单抛;

dia2"±0.5 mm x 0.279 mm  单抛


标准包装

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装


技术参数

薄膜度:

SiO2=300nm

Ti=0-5nm

Pt(111)50-60nm

SiO2=300nm

Ti=10nm

Pt(111)150nm

SiO2=300 nm 

Ti=10nm

Pt(111)150 nm

SiO2=300 nm 

Ti=3nm

Pt(111)60 nm

电阻率R:

<0.005 ohm.cm

1-20 ohm.cm

5-10 ohm.cm

<0.005ohm.cm

温度参数:

 

400 ℃ / 1 hr

 

< 700~750 ℃/ 1 hr

<700~750℃ / 1 hr;

400 ℃ / 1 hr;

 

尺寸:

dia 4" x 0.5 mm

dia 4"x 0.5 mm

dia2"x0.279 mm

dia 4" x 0.5 mm


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