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Al2O3+AlN薄膜
- 产品概述:
- AlN Epitxial范本saphhire提出了氢化物气相外延(HVPE)的方法。氮化铝薄膜又是成本效益的方法,用来取代氮化铝单晶衬底。科晶真诚欢迎您的垂询!
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 产品名称
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氮化铝(AlN)薄膜 |
| 产品简介
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AlN Epitxial范本saphhire提出了氢化物气相外延(HVPE)的方法。氮化铝薄膜又是成本效益的方法,用来取代氮化铝单晶衬底。科晶真诚欢迎您的垂询!
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| 技术参数
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蓝宝石衬底取向: | c轴(0001)±1.0deg | 衬底: | Al2O3;SiC;GaN; | 薄膜厚度: | 10-5000nm | 导电类型: | 半绝缘型 | 位错密度: | XRD FWHM of <0002><500arcsec; XRD FWHM of <10-12><1500arcsec; | 有效面积: | >80% |
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| 产品规格
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氮化铝(蓝宝石衬底):dia2"±1mm x1500nm±10%,单抛; 注:可根据客户需求定制特殊的方向和尺寸。
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| 标准包装
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1000级超净室100级超净袋 |
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