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  • 6工位程控提拉涂膜机
  • 全自动5工位恒温提拉涂膜机
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  • 1650℃布里奇曼单晶生长炉
  • 600mm流延涂覆机
  • 200℃加热型薄膜 涂布机 (250mm*530mm,配250mm刮刀)
  • 1700℃高温箱式氢气炉 (8L, 200*200*200mm)
  • 液压平衡电动对辊机
  • 超声旋转喷涂仪 (300-3000 rpm,300mm晶片)
  • 气氛可控型旋转涂敷机
  • 真空旋转涂层机
  • 1200℃双温区连续生长卷对卷PECVD系统 (φ80mm x 1400 mm,温区长440mm)
  • 10L高剪切湿法颗粒混料机
  • 小型滚轴式混料机
  • 5L双行星式真空搅拌机
  • 实验室气体干燥装置

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