VTC-3RF

最高500℃

300W自动匹配

100W手动匹配

1、基台可旋转加

2、三靶头设计，可溅射金属和氧化物

VTC-1RF

最高500℃

300W自动匹配

100W手动匹配

单个靶头，设备小巧

VTC-2RF

最高500℃

300W自动匹配

100W手动匹配

单个靶头，设备小巧

VTC-2DC

最高500℃

DC500W

单个靶头，设备小巧

VTC-16-3HD

最高500℃

溅射电流：0-50mA

单次工作时间：0-5min

1、三靶头设计

2、触摸屏式控制面板

VTC-16-D

可选加热基台

溅射电流：0-50mA

溅射时间：0-120S

小型直流，基台高度可调

VTC-16-SM

可选加热基台

溅射电流：0-150mA

1、旋转基台

2、靶基距可调

VTC-5RF

最高600℃

5个1英寸靶头设计

VTC-600-2HD

最高500℃

DC 500W   RF300W

一靶头与射频电源相连，一靶头与直流电源相连

VTC-600-3HD

最高500℃

1、三靶头设计

2、不锈钢腔体

VTC-16PW

振动样品台

1、对粉体材料进行包覆

2、设备可在手套箱内使用

VTC-3RF

Φ50×（0.1-3）mm

278 OD×272 ID×310Hmm

700×770×1900mm

80kg

VTC-1RF

Φ25.4×（0.1-3）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-2RF

Φ50×（0.1-3）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-2DC

Φ50×（0.1-5）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-16-3HD

166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

50kg

VTC-16-D

Φ50×（0.1-2.5）mm

166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

20kg

VTC-16-SM

Φ50×（0.1-2.5）mm

166 OD×150 ID×290Hmm

460×330×520mm

20kg

VTC-5RF

Φ25×（0.1-3）mm

470×445×522Hmm

60kg

VTC-600-2HD

Φ50×（0.1-5）mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-600-3HD

Φ50×（0.1-5）mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-16PW

Φ50×（0.1-5）mm

165 OD×150 ID×250Hmm

460×330×540mm

20kg